Способ аддитивного изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц

Изобретение относится к аддитивной 3D-технологии изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц. Способ включает получение потока аэрозоля с наночастицами в потоке транспортного газа, нагрев аэрозоля в потоке транспортного газа с обеспечением получения наночастиц сферической формы требуемого размера, транспортировку полученного потока аэрозоля к головке с соплом, подачу в указанное сопло потока аэрозоля и защитного газа, фокусировку потока аэрозоля наночастиц, осаждение наночастиц из сфокусированного потока аэрозоля на подложку и спекание наночастиц. Используют наночастицы, полученные из металлов, металлоподобных соединений и полупроводников. Нагрев аэрозоля с наночастицами в потоке транспортного газа с обеспечением получения наночастиц сферической формы требуемого размера и спекание наночастиц на подложке проводят посредством по крайней мере одного источника лазерного излучения, длина волны которого соответствует возбуждению размерозависимого локализованного поверхностного плазмонного резонанса для модального значения спектра диаметров осаждаемых на подложку наночастиц. Обеспечивается уменьшение энергоемкости процесса и возможность применения термочувствительных подложек в пластиковой электронике. 3 з.п. ф-лы, 4 ил., 1 пр.